Halbleiterbereich
Halbleiter-Wafer und optische Substrate reinigen Halbleiter-Wafer und optische Substrate bei der Verarbeitung im gleichen Prozess, das heißt, das Rohmaterial wird in Form von Schneiden, Schleifen und anderen Formen der Bearbeitung in die gewünschte Form gebracht. Bei diesem Verfahren entstehen Partikelverunreinigungen, die schwer zu entfernen sind und zu ernsthaften Problemen durch wiederkehrende Verunreinigung führen. Verunreinigungen auf der Oberfläche von Halbleiterwafern beeinträchtigen die Qualität von Leiterplatten, was wiederum die Lebensdauer von Halbleiterchips verkürzt. Verunreinigungen auf der Oberfläche optischer Substrate beeinträchtigen die Qualität der Optik und Beschichtungen und können zu Energieinhomogenität und verkürzter Lebensdauer führen. Da die Laser-Trockenreinigung anfällig für Schäden an der Substratoberfläche ist, wird diese Reinigungsmethode bei der Reinigung von Halbleiterwafern und optischen Substraten weniger eingesetzt, und Laser-Nassreinigung und Laser-Plasma-Stoßwellenreinigung haben in diesem Bereich erfolgreichere Anwendungen. Xu Chuanyi et al. Untersuchte die Ablagerung spezieller magnetischer Farbe im Mikrometerbereich als dielektrischen Film auf der Oberfläche eines ultraglatten optischen Substrats und anschließende Verwendung einer gepulsten Laserreinigung. Der Reinigungseffekt ist besser, obwohl die Partikel pro Flächeneinheit verunreinigt sind Obwohl die Größe der Verunreinigungspartikel zugenommen hat und die Flächenabdeckung erheblich abgenommen hat, kann das Verfahren bei der Reinigung von Verunreinigungspartikeln im Mikrometerbereich auf der Oberfläche des ultraglatten optischen Substrats wirksam sein. Ping Zhang untersuchte die Laser-Plasma-Reinigungstechnologie im Arbeitsabstand und die Laserenergie auf die Reinigungswirkung von Schadstoffpartikeln unterschiedlicher Partikelgröße. Die Testergebnisse zeigen, dass für das leitfähige Glassubstrat auf den Polystyrolpartikeln die Energie des 240-mJ-Lasers optimal ist Arbeitsabstand von 1,90 mm, mit der Erhöhung der Laserenergie zur Reinigung ist der Effekt der Erhöhung offensichtlich und große Schadstoffpartikel lassen sich leichter entfernen.
Bereich Metallmaterial
Reinigung von Metalloberflächen Die Reinigung von Metalloberflächen gehört im Vergleich zur Reinigung von Halbleiterwafern und optischen Substraten zur Makrokategorie. Schadstoffe auf der Oberfläche von Metallmaterialien sind hauptsächlich oxidierte Schichten (Korrosionsschichten), Farben, Beschichtungen, andere Anhaftungen usw., je nach Art der Schadstoffe können sie in organische Schadstoffe (z. B. Farben, Beschichtungen) und anorganische Schadstoffe (z. B. Lacke, Beschichtungen) unterteilt werden als Korrosionsschicht). Die Reinigung von Oberflächenverunreinigungen aus Metallmaterialien dient hauptsächlich der Erfüllung der nachfolgenden Verarbeitungs- oder Verwendungsanforderungen, z. B. beim Schweißen von Titanlegierungsteilen, bevor die etwa 10 μm dicke Oxidschicht von der Oberfläche des Materials entfernt werden muss. Bei der Flugzeugüberholung muss die ursprüngliche Farbbeschichtung auf der Oberfläche entfernt werden Um das Nachsprühen der Haut zu erleichtern, müssen Gummireifenformen regelmäßig gereinigt werden, um sicherzustellen, dass die Oberfläche der Gummipartikel sauber ist und die Produktion, die Qualität der Reifen und die Lebensdauer gewährleistet sind die Formen. Die Schadensschwelle von Metallmaterialien ist höher als die Schwelle der Laserreinigung von Oberflächenverunreinigungen. Durch die Auswahl der geeigneten Laserleistung können bessere Reinigungsergebnisse erzielt werden. In einigen Bereichen gibt es bereits ausgereifte Anwendungen. Wang Lihua et al. untersuchte die Anwendung der Laserreinigungstechnologie bei der Behandlung der Oberflächenoxidation von Aluminiumlegierungen und Titanlegierungen. Die Ergebnisse zeigen, dass der Einsatz eines Lasers mit einer Energiedichte von 5,1 J/cm2 zur Reinigung der Oberfläche der Oxidschicht des Aluminiums verwendet werden kann. {5}}H Aluminiumlegierung Um gleichzeitig die gute Qualität des Substrats aufrechtzuerhalten, kann die Verwendung eines gepulsten Laserscanmodus mit einer durchschnittlichen Leistung von 100 W die Oberfläche der oxidierten Schicht der Titanlegierung effektiv reinigen und verbessern Oberflächenhärte des Materials. Die durchschnittliche Leistung eines gepulsten 100-W-Lasers kann die Oxidschicht auf der Oberfläche einer Titanlegierung effektiv reinigen und die Oberflächenhärte des Materials durch Scannen verbessern. Die von Ruike Laser, Da Nu Laser, Shenzhen Chuangxin und anderen inländischen Unternehmen entwickelten Laserreinigungsgeräte werden häufig für die Reinigung von Reifen und anderen Gummiformen, Metallkorrosionsschichten sowie der Oberflächenölreinigung von Teilen und Komponenten eingesetzt.
Der Bereich der kulturellen Relikte
Reinigung von Kulturdenkmälern und Papieroberflächen, Metallartefakten und Steinartefakten usw. Aufgrund der langen Geschichte der Oberfläche treten Schmutz, Tinte und andere Schadstoffe auf. Diese Schadstoffe müssen gereinigt werden, um Kulturdenkmäler wiederherzustellen. Malerei, Kalligraphie und anderes Papier führen bei unsachgemäßer Lagerung zu Schimmelbildung und Plaquebildung auf der Oberfläche. Diese Plaques beeinträchtigen das ursprüngliche Erscheinungsbild des Papiers erheblich, insbesondere den kulturellen oder historischen Wert des Papiers und beeinträchtigen dessen Wertschätzung und Schutz . Zhao Ying et al. untersuchte die Machbarkeit der UV-Laser-Reinigung von Schimmelpilzbelägen auf Reispapier. Die Testergebnisse zeigen, dass der einmalige Einsatz von Laserscanning mit einer Energiedichte von 3,2 J/mm2 dünne Plaques entfernen kann, zweimaliges Scannen saubere Plaques sein kann. Wenn jedoch die Laserenergie zu hoch eingesetzt wird, wird es bei der Entfernung von Plaques gleichzeitig mit dem Reispapier beschädigt. Zhang Xiaotong et al. restaurierte erfolgreich ein vergoldetes Bronzeartefakt mithilfe der Laser-Flüssigkeitsfilmmethode mit vertikaler Bestrahlung. Zhang Licheng et al. verwendete Laserreinigungstechnologie bei der Restaurierung einer bemalten weiblichen Terrakottafigur aus der Han-Dynastie. Yuan et al. untersuchten die Wirkung der Laserreinigungstechnologie, die bei der Reinigung von Kulturdenkmälern aus Stein eingesetzt wird, und verglichen die Beschädigung des Sandsteinkörpers vor und nach der Reinigung sowie die Wirkung der Tintenreinigung, der Reinigung von Rauchverschmutzung und der Reinigung von Farbverschmutzung.
