Intel installiert das erste EUV-Fertigungstool, das Laser emittieren kann, die heißer sind als die Sonne

Der Chipriese Intel hat bekannt gegeben, dass die Montage des weltweit ersten kommerziellen EUV-Scanners (Extrem-Ultraviolett-Lithographie) mit hoher numerischer Apertur (NA) abgeschlossen ist. Das Gerät verbessert die Auflösung und Funktionsskalierung von Chips der nächsten Generation erheblich, indem es das optische Design ändert, das zum Projizieren gedruckter Bilder auf Siliziumwafer verwendet wird.
Die 150-t-Lithographieausrüstung, die in Intels D1X-Forschungsanlage in Hillsboro zusammengebaut wurde, durchläuft derzeit Kalibrierungsschritte. Es ermöglicht Chipherstellern, winzige Muster auf Siliziumwafer zu ätzen, um Miniaturschaltkreise für Computerchips zu erstellen.
Das niederländische Unternehmen ASML ist das einzige Unternehmen weltweit, das dieses Tool herstellt. Intels Modell ist eines von nur zwei auf der Welt.
Arbeiter in Intel-Fabriken sind für ihre weiße Hautfarbe bekannt und tragen normalerweise von Kopf bis Fuß einen „Bunny Suit“ (Hasenanzug). Der Bunny Suit bezieht sich auf einen „Reinraumanzug“, der zur Standardausrüstung für Arbeiter in Reinräumen gehört und verhindert, dass Partikel aus Haut, Haaren oder Kleidung mikroskopische Merkmale auf Computerchips beschädigen.
In Intels riesiger Forschungseinrichtung in Hillsboro ist ein weiteres Accessoire seit Kurzem alltäglich geworden: Helme.
Die Arbeiter im Intel-Werk verbrachten Monate damit, ein riesiges Fertigungswerkzeug zusammenzubauen, das 150 Tonnen wiegt. Es ist das fortschrittlichste Lithografiegerät, das es gibt, eines von nur zwei auf der Welt, und wird von der niederländischen Firma ASML hergestellt.
Das riesige Gerät wird als High Numerical Aperture (NA) EUV Fabrication Tool bezeichnet. Es hat die Größe eines Doppeldeckerbusses in einer Fabrik, aber was Sie sehen, ist nur ein Teil des Ganzen. Das Werkzeug erstreckt sich tatsächlich über die Decke und unter den Boden.
Von dort aus feuert das EUV-Werkzeug (Extreme Ultraviolet) 50 {1} Mal pro Sekunde einen Laser auf winzige Zinntröpfchen mit einem Energiestoß, der 40-mal heißer ist als die Sonnenoberfläche. Die resultierende Kollision erzeugt einen Schatten aus ultraviolettem Licht, der auf der Erde nicht natürlich vorkommt.
Dieses sehr große Produktionswerkzeug erzeugt also etwas ganz Kleines: Licht mit einer Wellenlänge von nur wenigen Milliardstel Metern. Diese winzigen Lichtwellen ermöglichen es Halbleiterherstellern, kleinere Auflösungen als je zuvor auf Computerchips zu ätzen und so den Weg für Generationen leistungsstärkerer Computer zu ebnen.
„Wir entwickeln Innovationen auf dem neuesten Stand der Physik“, sagte Jeff Birdsall, ein Intel-Vizepräsident, der die Technologieentwicklung des Unternehmens leitet.
Es ist bekannt, dass Intel hinsichtlich seiner Fertigungstechnologie verschwiegen ist. Diesmal stellte es sein neues Spielzeug bei einer Verkaufsveranstaltung vor. Diesen Monat lud das Unternehmen Journalisten – und sogar ein BBC-Nachrichtenteam – in sein Werk in Hillsboro ein, um der Öffentlichkeit und potenziellen Kunden Intels Transformationsgeschichte zu erzählen und ein Fertigungswerkzeug vorzustellen, über das seine Konkurrenten noch nicht verfügen.
Die Technologie von Intel ist im letzten Jahrzehnt ernsthaft aus der Bahn geraten, was zum Teil darauf zurückzuführen ist, dass das Unternehmen die ersten EUV-Tools nur langsam in seinen Werken einführte. Dadurch konnten die Konkurrenten in Asien weit vorn sein, während Intel einen hohen Preis zahlen musste, um aufzuholen.
Intel hat sich nun dazu verpflichtet, 100 Milliarden US-Dollar in hochmoderne Fabriken auf der ganzen Welt zu investieren. Darin sind 36 Milliarden US-Dollar für die Modernisierung des Hillsboro-Komplexes enthalten, wo Intel eine neue Generation von Chip-Technologie oder sogenannte neue Prozessknoten entwickelt.
Die 10000 Ingenieure und Techniker in Intels Forschungseinrichtung in Oregon setzen dieses Geld ein, und neue Lithografie-Tools stehen im Mittelpunkt dieser Bemühungen. Jede EUV-Maschine kostet fast 400 Millionen US-Dollar, und Intel wird viele davon benötigen, um sein Werk in Oregon und andere auf der ganzen Welt auszurüsten.
Intel hat Monate der Arbeit an dem neuen Lithographie-Tool vor sich, in dem es seine Fähigkeiten testet und lernt, wie man es nutzt. Die ersten kommerziellen Chips mit der fortschrittlicheren Technologie werden frühestens in zwei Jahren verfügbar sein.