In letzter Zeit , ein Team von Forscher Wei Chaoyang von der Präzision optisch Fertigung und Inspektion Zentrum von Shanghai Institut von Optik und Präzision Maschinen (SIPM) von der chinesischen Akademie von Wissenschaften (CAS) hat realisiert die Herstellung von hoch UV lasergeschädigt geschmolzen Siliziumdioxid Komponenten basierend auf den Defekten Charakterisierung und Entfernung Prozess von CO2 Laser. Die Forschung Ergebnisse waren veröffentlicht in Licht: Fortschrittlich Fertigung.
Das Problem von UV laserinduziert Schäden zu verschmolzen Kieselsäure Komponenten hat schwer begrenzt die Entwicklung von Hochleistungs Laser Systemen. Die Strom Kontakt Schleifen und Politur Prozess unvermeidlich hat Verarbeitung Defekte, die sind schwierig zu sein vollständig entfernt durch Nachbearbeitung, stark reduzieren die Leistung und Lebensdauer von verschmolzen Siliziumdioxid Komponenten.
Based on the microsecond pulsed laser low-stress uniform ablation technology, the research team proposed a laser chromatography ablation method to characterize the subsurface defects, and coupled it to the rapid removal of materials to achieve the complete removal of subsurface defects at the grinding stage. Afterwards, the laser conformal cleaning method was used to clean the redeposited contaminants on the ablated surface, and laser melt polishing was used to smooth the ablation trajectory, realizing the CO2 laser full-link flexible processing of fused silica components. Compared with the conventional process, the CO2 laser processing link can effectively inhibit the introduction of processing defects and thus realize the preparation of fused silica components with higher damage thresholds. The proposed laser-based defect characterization and removal method provides a new tool for the study of subsurface defects and the formulation of suppression strategies, and also provides a new idea for the low-defect processing of fused silica components.
Diese Arbeit wurde unterstützt von dem Nationalen Schlüssel Forschung und Entwicklung Programm von China, the Shanghai Yangfan Program, the National Natural Science Youth Fund, the Shanghai Natural Science Foundation, the Astronomy Joint Fund and the Young Innovation Promotion Association of the Chinese Academy of Sciences.
Fortschritt in lasergestützt Fertigung von verschmolzen Kieselsäure Komponenten mit hoher Widerstand zu UV Laser Schaden bei Shanghai Institut von Optik und Mechanik (SIOM)
Abb. 1 (a) Konventionell Prozess Link; (b) CO2 Laser Bearbeitung Link; (c) 3D Vollkaliber Untergrund Defekt Charakterisierung Methode
Fortschritte in lasergestützt Fertigung von verschmolzen Kieselsäure Komponenten mit hoch UV Laser Schaden Widerstand bei SIPM.
Abb. 2 Vergleich von Schaden Leistung zwischen konventionell und laserbasiert Proben: (a) 1-on-1 Schaden Wahrscheinlichkeit (355 nm, 8,3 ns); (b) typisch Schaden Morphologie.
