Femtosekundenlaser im gepulsten Modus zum Top-Down-Schlagbohren von Glas.
Die Forschungsgruppe Laser-Materie-Wechselwirkung am Institut für Intensive Laser und Anwendungen (CELIA) an der Universität Bordeaux, Frankreich, hat eine neue Methode erforschtMikrobohrglasmit Femtosekundenlasern im GHz-Pulsmodus. Die entsprechende Forschung wurde kürzlich im International Journal of Extreme Manufacturing veröffentlicht.
Unter Verwendung von Femtosekundenlasern im gepulsten GHz-Zustand entwickelte das Forschungsteam eine neue Methode der Glasmikrobearbeitung, mit der konische, längliche Löcher mit glatten Innenwänden und ohne Risse im Glas gebohrt werden können. Typischerweise führt das Bohren mit einem standardmäßigen Einzel-Femtosekunden-Pulslaser zu konischen Löchern mit begrenzter Länge und rauen Innenflächen.
Dieser neue Mechanismus der Laser-Materie-Wechselwirkung ermöglicht das direkte Bohren von Löchern mit hohen Aspektverhältnissen in einem Schritt ohne chemisches Ätzen. Die Wahl der Laserpulsparameter ist sehr wichtig, um eine gute Mikrofabrikationsqualität zu erzielen. Der Femtosekundenlaser-GHz-Burst-Modus könnte den Weg für neue Anwendungen wie die Mikroelektronik ebnen, wo Silizium-Zwischenprodukte wahrscheinlich durch Glas-Zwischenprodukte ersetzt werden.
